![login icon]()
Přihlásit se
Získejte přístup k individuálním cenám a možnosti přímého nákupu.
![login icon]()
Přihlásit se
Získejte přístup k individuálním cenám a možnosti přímého nákupu.
Přihlásit se
Nemáte zatím svůj účet
- Produkty
-
- Dle parametru
-
- Měření teploty
- Měření vlhkosti
- Měření vodní aktivity
- Měření CO2
- Měření diferenčního tlaku
- Měření nízkého rosného bodu
- Měření tlaku
- Měření proudu a napětí
- Měření přetížení a vibrací
- Měření vodní hladiny
- Měření rychlosti větru
- Měření pH
- Měření mechanického napětí
- Měření pulzů, stavů a událostí
- Vakuové pájecí pece
- Vakuové pece pro rychlé tepelné žíhání
- Vyhřívané desky
- Automatizační moduly
- Software
-
- Dle výrobce
-
- Monitorovací a automatizační systémy
- Služby a podpora
- Aplikace
- Reference
- Časté dotazy
-
![]()
- Produkty
- Vakuové pece pro rychlé tepelné žíhání
- VPO-300 | Vakuová pec pro rychlé tepelné žíhání, horní plnění, pro křemíkové plátky do 300 mm
VPO-300
Vakuová pec pro rychlé tepelné žíhání, horní plnění, pro křemíkové plátky do 300 mm
Vybrat variantu
-
Rychlé tepelné procesy s vysokou přesností a automatickým vertikálním otevíráním
Model VPO-300 je vakuová pec s automatickým vertikálním otevíráním, navržená pro rychlé tepelné procesy (Rapid Thermal Processing – RTP) a žíhání (RTA). Díky vysoké teplotní dynamice, přesnému řízení atmosféry a možnosti vysokého vakua je ideální pro aplikace v oblasti polovodičů, solárních článků a pokročilých materiálů.
Klíčové vlastnosti:
- Maximální velikost substrátu: 300 × 300 mm nebo 300 mm wafer
- Maximální teplota: až 1000 °C (volitelně až 1200 °C)
- Náběh teploty: až 40 K/s
- Topný výkon: infračervené lampy (horní a spodní křížové pole)
- Komora: nerezová, výška 120 mm (volitelně až 300 mm)
- Vakuum: až do 10⁻³ hPa (volitelně až 10⁻⁶ hPa s verzí HV)
- Řízení atmosféry: až 4 plynové linky s MFC (1 standardní, 3 volitelné)
- Ovládání: SIMATIC SPS s 7" dotykovým panelem, až 50 programů po 50 krocích
- Chlazení: vodní (nutné), výkon až 8,8 kW
- Rozhraní: Ethernet, volitelně sériové rozhraní
Volitelné příslušenství:
- Vodíkový modul s bezpečnostními prvky
- Modul pro kyselinu mravenčí
- Membránová pumpa (chemicky odolná)
- Olejová rotační pumpa
- Uzavřený vodní chladicí okruh
- Křemenný držák waferu nebo grafitový susceptor
- Bezpečnostní kryt Hood L
- Alarmsvětlo (pat light)
- Externí switchbox pro pumpu nebo chladič
- Možnost připojení optických měřicích zařízení přes průchodky
Technické parametry:
- Rozměry zařízení: cca 540 x 690 x 890 mm
- Hmotnost: cca 140 kg
- Napájení: dle regionu (např. EU: 3×400 V, 21 kW)
- Řízení: Siemens SPS, dotykový panel
- Chlazení: vodní, nutné pro provoz
VPO-300
Vakuová pec pro rychlé tepelné žíhání, horní plnění, pro křemíkové plátky do 300 mm
Vybrat variantu
VPO-300 – Vakuová pec s vertikálním otevíráním pro rychlé tepelné procesy až do 1000 °C
VPO-300 je výkonná pec pro rychlé tepelné procesy (RTP/RTA) s možností vysokého vakua, řízené atmosféry a substráty až do velikosti 300 × 300 mm. Ideální pro polovodičové aplikace a výzkum.
-
Rychlé tepelné procesy s vysokou přesností a automatickým vertikálním otevíráním
Model VPO-300 je vakuová pec s automatickým vertikálním otevíráním, navržená pro rychlé tepelné procesy (Rapid Thermal Processing – RTP) a žíhání (RTA). Díky vysoké teplotní dynamice, přesnému řízení atmosféry a možnosti vysokého vakua je ideální pro aplikace v oblasti polovodičů, solárních článků a pokročilých materiálů.
Klíčové vlastnosti:
- Maximální velikost substrátu: 300 × 300 mm nebo 300 mm wafer
- Maximální teplota: až 1000 °C (volitelně až 1200 °C)
- Náběh teploty: až 40 K/s
- Topný výkon: infračervené lampy (horní a spodní křížové pole)
- Komora: nerezová, výška 120 mm (volitelně až 300 mm)
- Vakuum: až do 10⁻³ hPa (volitelně až 10⁻⁶ hPa s verzí HV)
- Řízení atmosféry: až 4 plynové linky s MFC (1 standardní, 3 volitelné)
- Ovládání: SIMATIC SPS s 7" dotykovým panelem, až 50 programů po 50 krocích
- Chlazení: vodní (nutné), výkon až 8,8 kW
- Rozhraní: Ethernet, volitelně sériové rozhraní
Volitelné příslušenství:
- Vodíkový modul s bezpečnostními prvky
- Modul pro kyselinu mravenčí
- Membránová pumpa (chemicky odolná)
- Olejová rotační pumpa
- Uzavřený vodní chladicí okruh
- Křemenný držák waferu nebo grafitový susceptor
- Bezpečnostní kryt Hood L
- Alarmsvětlo (pat light)
- Externí switchbox pro pumpu nebo chladič
- Možnost připojení optických měřicích zařízení přes průchodky
Technické parametry:
- Rozměry zařízení: cca 540 x 690 x 890 mm
- Hmotnost: cca 140 kg
- Napájení: dle regionu (např. EU: 3×400 V, 21 kW)
- Řízení: Siemens SPS, dotykový panel
- Chlazení: vodní, nutné pro provoz
Seznam variant VPO-300
Vakuová pec pro rychlé tepelné žíhání, horní plnění, pro křemíkové plátky do 300 mm, vakuum do 10-3 hPa
VPO-300-HV
Vakuová pec pro rychlé tepelné žíhání, horní plnění, pro křemíkové plátky do 300 mm, vakuum do 10-6 hPa
VPO-300
Vakuová pec pro rychlé tepelné žíhání, horní plnění, pro křemíkové plátky do 300 mm, vakuum do 10-3 hPa
VPO-300-HV
Vakuová pec pro rychlé tepelné žíhání, horní plnění, pro křemíkové plátky do 300 mm, vakuum do 10-6 hPa
Kontaktní formulář
S čím vám můžeme pomoct?
Využijte kontaktní formulář pro jakýkoliv dotaz či připomínku
Ing. Jiří Pokorný, CSc.
Technický specialista, jednatel
Rádi se s vámi domluvíme na nezávazném setkání u vás v provozu. Nejlépe tak pochopíme vaše potřeby v oblasti měření a automatizace.
Rádi se s vámi sejdeme i online na platformě MS Teams
