UniTemp RTP-100

Měřte přesně, spolehlivě a za dostupnou cenu

Procesní pec s rychlostí ohřevu až 150 °C za vteřinu, kompatibilní s wafery do průměru 100 mm.

Technická specifikace

Velikost waferu:	až 100 mm	Rozměry:	504 x 505 (700) x 570
Materiál komory:	křemenné sklo	Hmotnost:	55 kg
Výška komory:	18 mm
Vakuum:	10^-3 hPa
Maximální teplota:	1 200 °C
Stabilita teploty:	≤ 1,5 %
Ohřev:	18 IR lamp (20 kW)
Rychlost ohřevu:	až 150 °C / sekunda	Výrobce:	UniTemp
Rychlost chlazení:	T= 1200 °C > 400 °C: 200 K/min, T= 400 °C > 100 °C: 30 K/min	Původ:	Německo

Další obrázky

–

Ke stažení

Detailní informace o produktu (pdf, en)

Nezávazná poptávka

Napište nám nebo rovnou zavolejte. Jsme tu pro Vás a už se těšíme, až Vám poradíme a usnadníme vše, co souvisí s měřením a regulací. Vyberte si způsob kontaktování, který vyhovuje Vám! Pokud máte komplexní problém, tak doporučujeme využít kontaktního formuláře, kde se můžete libovolně rozepsat. Pokud máte jednoduchý dotaz, tak jej velmi rádi zodpovíme telefonicky.